노광기 핵심부품 중 광원생성기 다음으로 중요한 부품이 반사경




그런데 EUV의 빛은 얻어내는 방법도 어렵지만, 주위 물질에 쉽게 흡수된다는 단점이 있습니다. 아무리 EUV를 쏴도 렌즈 몇 번만 거치면 렌즈에 흡수되어 버리는 것이지요. 빛의 흡수를 줄이고 한계를 극복하기 위해 ASML은 EUV 노광장비에 렌즈 대신 여러 개의 거울을 적용했죠. EUV 노광장비 내부 모습을 보면 거울로 여러 차례 빛이 반사되는 것을 볼 수 있습니다.


이 때 사용되는 거울을 자이스가 공급하고 있습니다. 자이스는 2010년, 반사, 흡수 등 변수를 최대한 줄이기 위해 원자 단위로 유리를 가공한 EUV용 특수 거울을 개발했습니다. 여러 차례 EUV를 반사해도 최종적으로 빛을 분사할 때 문제가 없을 정도로 손실이 덜하게끔 만든 것입니다. 그 덕분에 ASML은EUV 노광장비를 사용할 수 있게 됐죠.

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