먼저 반도체의 핵심 프로세스중 하나는 노광공정임







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대충 이렇게 빛을 쏴서 반도체 회로를 깎아내는 공정인데

저 공정이 미세하면 할수록 성능좋은 반도체가 나오고

저 공정이 미세하려면 더 얇은 붓이 필요한것처럼 더 짧은 파장의 광원과 그걸 조절할 수 있는 기술이 필요함



그런데 1980년대, 다들 한 400nm단위에서 놀고있을때 키노시타 히로오가 응용물리학회에서 새로운 기술을 발표함





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"짧아야된다고? X레이급 쓰면 되잖아"

X선급으로 짧은 파장을 조절할 수 있는 기술을 발표했음

무수한 개추와 댓글을 기대하고 발표를 했지만 반응이 매우 안좋았음




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저걸 어케하노? 광원은 입자가속기가 필요하고 거울기술은 노짱이 살아돌아오는게 빠르겠노ㅋㅋ


딱히 틀린말도 아니였던게






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거울도 자세히 보면 표면에 요철이 있을 수 밖에 없는데,

키노시타의 기술이 산업성이 있으려면 거울이 태평양만하다하면 수면의 파도가 10mm보다도 낮아야한다는 수준의 거울을 만들어야했음




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또 입자가속기는 작아도 축구장만한걸 만들어야했고

이걸 각 기계마다 하나씩 붙여줘야했음




그리고 결정적으로


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이런애들이 이미 기존의 노광기술로 돈을 잘 벌고있었기때문에 너무 실험적인 키노시타의 기술에 투자를 할 생각이 없었음





화이팅


하지만 키노시타는 포기하지않고 연구했고

이내 인텔이 주도하는 질서의 EUV(Extreme UltraViolet) 컨소시엄에서 연구를 했고 미국 에너지부의 연구까지 붙어서 연구가 가속화됐음

참고로 일본에게 반도체 시장을 장악당했던 경험때문에 미국은 일본 기업의 참여를 철저히 배제시키고 당시 2인자였던 어느 고등어파는 작은 나라의 회사를 끼워줬음






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이에 2000년에 첫 실증기기를 만들어내는 쾌거까지 이루었지만





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ㅅㅂ 돈을 엠창 ㅈㄴ게 부었는데 쓰지도 못하는게 나오네



장비 한대당 돈이 조단위로 들어갔는데도 산업성이 전혀 없는 수준의 생산성이었고

기존 기술도 많이 발전하면서 미국은 EUV기술에 대한 투자에서 손을 떼기 시작했음




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얘네 빼고


EUV 기술에 대한 투자가 주춤하니까 망해가던 광원 기술 회사, 광학회사를 사들이고 계속 개발을 하기 시작함



여기에 기존 고객사들한테 투자 제안을 함(EUV 말고도 노광기술이 있는 회사니까)




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연구 아직 멀었다 조단위로 필요한데 니네가 투자한만큼 나중에 공급해줄게




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인텔은 1조원 가까이, TSMC와 삼성전자는 각각 3천억원정도를 투자해서 미래를 도약함

ASML이 망하면 공멸하는 수준의 투자였음




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ASML은 렌즈광학기술은 자이스에게 맡기고 광원 기술을 깎아내기 시작했는데

이 광원기술은


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물방울만한 주석(시진핑아님)을 초당 5만번씩 떨어트리고 그 방울을 레이저로 두번 쏴맞추는 기술임

더 설명할 필요없이 사실상 엄두도 못낼 기술이 돼버림



이후 고객사에게 납품까지 가능해진 ASML인데 정작 여기서





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"아 근데 1세대 좀 냄새나는데;;"




1조를 투자한 인텔은 다음에 받겠다며 물량을 삼전, TSMC에게 넘기고

경영난에 허덕이던 중 ASML 지분을 팔기까지하면서 희대의 병신짓을 했고





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어흐 이게 뭔떡이노 ㅋㅋ





예상치도 못한 첫 물건을 받은 삼전은




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어떤 유명한 스마트폰에 첫 EUV기술을 사용한 프로세서를 탑재하게된다



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