์ฌ๋ฏธ์ผ์ ์จ๋ดค๋๋ฐ ๋ด๊ฐ ์ด์ชฝ ์
๊ณ๊ฐ ์๋์ง๋ผ ํ๋ฆด์ ์์
1. ์ ์ธตํ ์ผ์์ ์ฅ์ ?
๋น์ ์ธตํ ์ผ์์ ๊ฒฝ์ฐ circuit/image signaling processor(isp) ๋ฑ๋ฑ์ด Pixel ๋ฐ๋ก ์์ ๋ถ์ด์์ง๋ง
์ ์ธตํ ์ผ์์ ๊ฒฝ์ฐ isp์ ์ํท์ pixel ๋ฐ์ ์ ์ธต์ ์ํค๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ผ์ ๋ถํ์ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ์ค์ด๊ฑฐ๋ ๊ฐ์ ํฌ๊ธฐ๋ผ๋ฉด ํฝ์
ํฌ๊ธฐ๋ ํ์๋ฅผ ํค์ธ ์ ์์
๊ทธ๋ ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋ถํ์ฌ์ด์ฆ์ ๋ฏผ๊ฐํ ์ค๋งํธํฐ ๋ฑ์์๋ 2012๋
๋ถํฐ ์์ฉํ๋ ๊ธฐ์ ์ด๊ณ ์๋์ ์ผ๋ก ๋ถํ ์ฌ์ด์ฆ์
๋ ๋ฏผ๊ฐํ๊ณ ๋์ด ์๋๋ ํฌ๋กญ์ด์ ์นด๋ฉ๋ผ ์ฌ์
๋ถ์์๋ ์๋์ ์ผ๋ก ๋ฆ๊ฒ ๋์
๋์์
2. ์ ์ธตํ ์ผ์์ ๋จ์ ?
ํ์ง๋ง ์ ์ธตํ์์๋ ์ฅ์ ๋ง ์๋๊ฑด ์๋
๊ฒฐ๊ตญ ์ ์ธต์ ํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ผ๋ก ์๋จ์ ํฝ์
๊ณผ ํ๋ถ์ ๋ก์ง ์ฌ์ด๋ฅผ ์ฐ๊ฒฐํด์ฃผ๋ TSV๋ผ๋ ๊ดํต ์ ๊ทน(๊ตฌ๋ฉ)๊ฐ ํ์ํ๊ฒ ๋๋๋ฐ
์ด ๊ตฌ๋ฉ์ด ์ถ๊ฐ๋จ์ผ๋ก์จ parasitic capacitance๊ฐ ์กด์ฌํ๊ณ ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ๋ฆฌ๋์์ ๊ณผ์ ์์ ๋
ธ์ด์ฆ๊ฐ ์๊ธธ ์ ๋ฐ์ ์์
3. ๋จ์ ์ ํด๊ฒฐํด๋ณผ๊น?
ํ์ง๋ง ๊ณผํ์๋ค๊ณผ ์์ง๋์ด๋ ๋ฉ์ฒญํ์ง์์
ํฝ์
๊ณผ ๋ก์ง์ด ๋ถ๋ฆฌ๋์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๊ฐ๊ฐ์ ์ต์ ํํด์ ๋
ธ์ด์ฆ๋ฅผ ์ค์ฌ ๋ณด๋ฉด ์๋ ๊น? ๋ผ๋ ์๊ฐ์ ์์ง๋์ด๋ค์ด ํ๊ฒ๋์๊ณ
๊ตฌํ Dram ๊ณต์ ์ ์ ํ Dram ๊ณต์ ์ผ๋ก ๋์ฒดํ๋ ๊ณผ์ ์์, ์ผ์ฑ์ ์์ ํ์ด๋์ค๋ ํฝ์
ํ๋ถ์ ๋ก์ง ํ๋ก์, dram์์๋ ๋ํ๋์์ง๋ง CMOS ์
๊ณ์์๋ ์ถฉ๋ถํ ํ๋ฅญํ ๊ณต์ ์ ์ ์ฉํด ์ฑ๋ฅ์ ํฅ์์ํค์๋ผ๊ณ ๊ฒฐ์ ํ๊ณ
๊ธฐ์กด์๋ ํฝ์
๋ 65nm ๋ก์ง๋ 65nm๋ก ์์ฐํ๋ค๋ฉด, ํฝ์
์ 65nm, ๋ก์ง์ ๊ตฌํ dram 14nm ๊ณต์ ์์ ์์ฐํ ๋ค์ TSV๋ก ์ฎ์ด์ฃผ๋ ๊ณผ์ ์ผ๋ก ์ต๋ํ ๋
ธ์ด์ฆ๋ฅผ ์ค์ผ๋ ค๊ณ ํ์
๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ๋ค์ํ ๋
ผ๋ฌธ์์๋ ์ด๋ฌํ ๋ฏธ์ธ๊ณต์ ์ ์ ๊ทน์ ์ผ๋ก ํ์ฉํ๋ฉด ๊ธฐ์กด ์ผ์๋ณด๋ค ๊ณ ๊ฐ๋ ์ฑ๋ฅ ํนํ ์ผ๊ฐ ์ ์กฐ๋ ๋ถ๋ถ์์ ์ฐ์ํด์ง๋ค๋ผ๊ณ ๊ฒฐ๋ก ๋ด๋ ธ์
4.๊ฑฐ๊ธฐ์ ํ๋จ๊ณ ๋ ๋์๊ฐ๋ณผ๊น?.
TSV์ ๋จ์ ์ ํด๊ฒฐํ๊ธฐ ์ํด TSV๋ฅผ ํ๋ก๋ผ๋ฆฌ ๊ตฌ๋ฆฌ-๊ตฌ๋ฆฌ ์ปค๋ฅ์
์ผ๋ก ๋์ฒดํจ์ผ๋ก์จ ๋
ธ์ด์ฆ๋ ์ค์ด๊ณ ๋ฉด์ ์์ ์ํด๋ ๋๋ณด๋ ๊ณต์ ๋ ๊ฐ๋ฐ๋์๊ณ .
ํฝ์
์ ๊ฒฝ์ฐ Photodiode์ pixel transistor๋ก ๊ตฌ์ฑ๋์์๋๋ฐ
์ด๋ฌํ ๊ตฌ์กฐ๋ก ๋์ด์์ผ๋ฉด ๋จ์ ์ด ์์
์ ํ๋ ํฌ๊ธฐ์์ ๊ณ ๊ฐ๋ ์ฑ๋ฅ์ ๋๋ฆฌ๊ธฐ์ํด
Photodiode๋ฅผ ํค์ฐ์๋ pixel transistor๊ฐ ์ค์ด์ amp์ ์ฑ๋ฅ์ด ์ ํ๋๊ณ Pixel transistor์ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ๋๋ ค์ amp์ ์ฑ๋ฅ์ ํค์ฐ์๋ photodiode์ ํฌ๊ธฐ๊ฐ ์ค์ด๋ค๊ฒ๋จ
๊ทธ๋์ X๋๋ ํฝ์
ํธ๋์ง์คํฐ๋ฅผ ๋ถ๋ฆฌํด์ ํฌํ ๋ค์ด์ค๋ ์๋์ ์ ์ธตํ๋ ์ ๊ธฐ์ ์ ๊ฐ๋ฐํด๋๊ณ ํฝ์
ํธ๋์ง์คํฐ๊ฐ ์ฌ๋ผ์ง ํ์ ํ ํฌํ ๋ค์ด์ค๋์ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ๋๋ ธ๊ณ , ํฝ์
ํธ๋์ง์คํฐ๊ฐ ๋ถ๋ฆฌ๋์ด ์ ์ธต๋์์ผ๋ ํฝ์
ํธ๋์ง์คํฐ์ ํฌ๊ธฐ๋ ๋๋ฆฌ๊ณ ๋ฏธ์ธ๊ณต์ ์ผ๋ก ์ฑ๋ฅ์ ํฅ์์ํค๋ ๊ธฐ์ ์ ๊ฐ๋ฐํจ
๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ๊ฐ์ ์ผ์ ํฌ๊ธฐ์์ ํฌํ ๋ค์ด์ค๋์ ์ ํ๋์ด ๋๋ฐฐ ๊ฐ๋ ์ฆ๊ฐํ๋ ์์ฒญ๋ ํฅ์์ ์ด๋ค๋
๊ทธ์ธ์๋ VTG ๋ฑ์ ๊ธฐ์ ์ด ์์ง๋ง ์ฌ๊ธฐ์ ์๋ต
๊ฒฐ๋ก ์๋์ผ ์ผ์ฑ์ ํ์ด๋์ค์ผ ์จ์ธ๋ฏธ์ผย ์ด์ฌํ ํ์
- dc official App
์์ ์๋ฒฝํ ์ดํดํ๋ค ์ง์ง์
์ผ๋ฐ์ธ ๋์์ผ๋ก๋ ์ฝ๊ฒ ์ดํดํด๋ ค๊ณ ์ผ๋๋ฐ ์ดํดํ๋ค๋ ์ข๊ตฌ๋ง - dc App
ํ์ง๋ง ์ง๊ธ ์๋๊ฑฐ ๋จ๋ฌผ ์ซ์ซ ๋ฝ์์ผ์ฃ ์ต๋ํ ์ ์ ํ ๋ฆ๊ฒ ํ์ด์ผ์ฃ ๊ธฐ๋งคํค์ฃ ํํ์คํฑํ์ฃ
๋ฏฟ์๊ฑด ์ค์ค?๋ฏธ ๋ฟ์ด๋ค - dc App
์ค์ค?๋ฏธ๊ฐ ๋์ ๋์ผ ์ด์ฌํ ์ ์ผ์ ๋์ค์ง... - dc App
ํฌ์ํ๊ฑฐ ์ต๋ํ ๋ฝ์๋จน์ด์ผ์ง
๋ ๋์ค์ ๊ฐ์ผ๋ฉด์๋ ๋ค๋ค ๋๊ฐ ์ ๋นต ๋ ๋ฆฌ๊ธฐ ์ ์ ๋ชธ์ฌ๋ฆฌ๋ ์์ฅ์ด๋ผ ์๋ฌด๋๋ ใ ใ
๊ทธ๋์ ์ ์ธตํ์ด๋ ๋น์ ์ธตํ ์ฐจ์ด์ ์ด ๋จธ์??
์์ ์ ์ด๋จ์์ ํ๋ก๋ฅผ ์๋๋ก ๋นผ์ ์ผ์๋ชจ๋ ํฌ๊ธฐ ์ค์ด๊ฑฐ๋ ์ผ์ ํฌ๊ธฐ ๋๋ฆฌ๊ธฐ ์ข๋ค ๋์ ํ๋ก๋๋งค ๋ ธ์ด์ฆ ๋์ด๋๊ธดํ๋ฐ ๊ณต๋์ด ๊ฐ์๋ฃ์ผ๋ฉด ๋๋๋ผ๊ฐ ์์ง - dc App
์ด๋ ต๊ตฐ
๊ทธ๋ฌ๋๊น ๊ฐ๋ก์ธ๋ก 1๋ฏธํฐ(๋ํ์ฌ์ด์ฆใทใท)์ง๋ฆฌ ์ผ์๊ฐ ์๋ค๊ณ ์ณ๋ณด๊ฒ ์. ๋น์ ์ธตํ์ ์ด๊ฑธ ํฝ์ (์ค์ ๋ก ์๊ด๋๋ ๋ถ๋ถ)์ด ๋ค ์ธ์๊ฐ ์๋๋ฐ ์ ์ธตํ์ ๊ทธ๊ฒ ๋๋ค๋๊ฑฐ์ง
์ฟ ์ฟ ์ฟ ์ปค๋ฅ์ ๊ฐ์ฉ๋ค ์ ๋ฐ๊ฒ ๋๋ค๊ณ ?
์ฌ์ค ์ ๊ฒ๋ 2021๋ ๊ธฐ์ ์ด๋ผ...... ๊ทธ ์ดํ๋ก ๋ ๋ฐ์ ํจ
tsv๋ ์ด์ ์ต์ ์ด ์๋๊ตฌ๋ ์ฐธ
ํ๋ cis ์ ๋๋ค๊ณ ๋ด์ค๋ณธ๊ฒ๊ฐ์๋ฐ - dc App
ใ ใ ์์๋ ์ํ๋๋ฏ - dc App
์ง๋์ฃผ์ธ๊ฐ์ ๊ณต์ ์ฒ ์๋ฐํํจ ใ ใ - dc App
ํ์ด๋์ค๋ ๋๋จ์ด๋ hbm์ ์ง์คํด์ผ์ง - dc App
์ด์ ๋ ์ ํ๋ธ์ ์ฌ๋ผ๊ฐ๊ฒ ๋ค