์žฌ๋ฏธ์‚ผ์•„ ์จ๋ดค๋Š”๋ฐ ๋‚ด๊ฐ€ ์ด์ชฝ ์—…๊ณ„๊ฐ€ ์•„๋‹Œ์ง€๋ผ ํ‹€๋ฆด์ˆ˜ ์žˆ์Œ

1. ์ ์ธตํ˜• ์„ผ์„œ์˜ ์žฅ์ ?

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๋น„์ ์ธตํ˜• ์„ผ์„œ์˜ ๊ฒฝ์šฐ circuit/image signaling processor(isp) ๋“ฑ๋“ฑ์ด Pixel ๋ฐ”๋กœ ์˜†์— ๋ถ™์–ด์žˆ์ง€๋งŒ

์ ์ธตํ˜• ์„ผ์„œ์˜ ๊ฒฝ์šฐ isp์™€ ์„œํ‚ท์„ pixel ๋ฐ‘์— ์ ์ธต์„ ์‹œํ‚ค๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ์„ผ์„œ ๋ถ€ํ’ˆ์˜ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ์ค„์ด๊ฑฐ๋‚˜ ๊ฐ™์€ ํฌ๊ธฐ๋ผ๋ฉด ํ”ฝ์…€ ํฌ๊ธฐ๋‚˜ ํ™”์†Œ๋ฅผ ํ‚ค์šธ ์ˆ˜ ์žˆ์Œ

๊ทธ๋ ‡๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ๋ถ€ํ’ˆ์‚ฌ์ด์ฆˆ์— ๋ฏผ๊ฐํ•œ ์Šค๋งˆํŠธํฐ ๋“ฑ์—์„œ๋Š” 2012๋…„๋ถ€ํ„ฐ ์ƒ์šฉํ™”๋œ ๊ธฐ์ˆ ์ด๊ณ  ์ƒ๋Œ€์ ์œผ๋กœ ๋ถ€ํ’ˆ ์‚ฌ์ด์ฆˆ์—
๋œ ๋ฏผ๊ฐํ•˜๊ณ  ๋ˆ์ด ์•ˆ๋˜๋Š” ํฌ๋กญ์ด์ƒ ์นด๋ฉ”๋ผ ์‚ฌ์—…๋ถ€์—์„œ๋Š” ์ƒ๋Œ€์ ์œผ๋กœ ๋Šฆ๊ฒŒ ๋„์ž…๋˜์—ˆ์Œ

2. ์ ์ธตํ˜• ์„ผ์„œ์˜ ๋‹จ์ ?
ํ•˜์ง€๋งŒ ์ ์ธตํ˜•์—์„œ๋Š” ์žฅ์ ๋งŒ ์žˆ๋Š”๊ฑด ์•„๋‹˜

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๊ฒฐ๊ตญ ์ ์ธต์„ ํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์œผ๋กœ ์ƒ๋‹จ์˜ ํ”ฝ์…€๊ณผ ํ•˜๋ถ€์˜ ๋กœ์ง ์‚ฌ์ด๋ฅผ ์—ฐ๊ฒฐํ•ด์ฃผ๋Š” TSV๋ผ๋Š” ๊ด€ํ†ต ์ „๊ทน(๊ตฌ๋ฉ)๊ฐ€ ํ•„์š”ํ•˜๊ฒŒ ๋˜๋Š”๋ฐ

์ด ๊ตฌ๋ฉ์ด ์ถ”๊ฐ€๋จ์œผ๋กœ์จ parasitic capacitance๊ฐ€ ์กด์žฌํ•˜๊ณ  ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ๋ฆฌ๋“œ์•„์›ƒ ๊ณผ์ •์—์„œ ๋…ธ์ด์ฆˆ๊ฐ€ ์ƒ๊ธธ ์ˆ˜ ๋ฐ–์— ์—†์Œ

3. ๋‹จ์ ์„ ํ•ด๊ฒฐํ•ด๋ณผ๊นŒ?
ํ•˜์ง€๋งŒ ๊ณผํ•™์ž๋“ค๊ณผ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋Š” ๋ฉ์ฒญํ•˜์ง€์•Š์Œ

ํ”ฝ์…€๊ณผ ๋กœ์ง์ด ๋ถ„๋ฆฌ๋˜์—ˆ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ๊ฐ๊ฐ์„ ์ตœ์ ํ™”ํ•ด์„œ ๋…ธ์ด์ฆˆ๋ฅผ ์ค„์—ฌ ๋ณด๋ฉด ์•ˆ๋ ๊นŒ? ๋ผ๋Š” ์ƒ๊ฐ์„ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋“ค์ด ํ•˜๊ฒŒ๋˜์—ˆ๊ณ 

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๊ตฌํ˜• Dram ๊ณต์ •์„ ์‹ ํ˜• Dram ๊ณต์ •์œผ๋กœ ๋Œ€์ฒดํ•˜๋Š” ๊ณผ์ •์—์„œ, ์‚ผ์„ฑ์ „์ž์™€ ํ•˜์ด๋‹‰์Šค๋Š” ํ”ฝ์…€ ํ•˜๋ถ€์˜ ๋กœ์ง ํšŒ๋กœ์—, dram์—์„œ๋Š” ๋„ํƒœ๋˜์—ˆ์ง€๋งŒ CMOS ์—…๊ณ„์—์„œ๋Š” ์ถฉ๋ถ„ํžˆ ํ›Œ๋ฅญํ•œ ๊ณต์ •์„ ์ ์šฉํ•ด ์„ฑ๋Šฅ์„ ํ–ฅ์ƒ์‹œํ‚ค์ž๋ผ๊ณ  ๊ฒฐ์ •ํ–ˆ๊ณ 

๊ธฐ์กด์—๋Š” ํ”ฝ์…€๋„ 65nm ๋กœ์ง๋„ 65nm๋กœ ์ƒ์‚ฐํ–ˆ๋‹ค๋ฉด, ํ”ฝ์…€์€ 65nm, ๋กœ์ง์€ ๊ตฌํ˜• dram 14nm ๊ณต์ •์—์„œ ์ƒ์‚ฐํ•œ ๋‹ค์Œ TSV๋กœ ์—ฎ์–ด์ฃผ๋Š” ๊ณผ์ •์œผ๋กœ ์ตœ๋Œ€ํ•œ ๋…ธ์ด์ฆˆ๋ฅผ ์ค„์ผ๋ ค๊ณ  ํ–ˆ์Œ

๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ๋‹ค์–‘ํ•œ ๋…ผ๋ฌธ์—์„œ๋Š” ์ด๋Ÿฌํ•œ ๋ฏธ์„ธ๊ณต์ •์„ ์ ๊ทน์ ์œผ๋กœ ํ™œ์šฉํ•˜๋ฉด ๊ธฐ์กด ์„ผ์„œ๋ณด๋‹ค ๊ณ ๊ฐ๋„ ์„ฑ๋Šฅ ํŠนํžˆ ์•ผ๊ฐ„ ์ €์กฐ๋„ ๋ถ€๋ถ„์—์„œ ์šฐ์›”ํ•ด์ง„๋‹ค๋ผ๊ณ  ๊ฒฐ๋ก  ๋‚ด๋ ธ์Œ

4.๊ฑฐ๊ธฐ์„œ ํ•œ๋‹จ๊ณ„ ๋” ๋‚˜์•„๊ฐ€๋ณผ๊นŒ?.

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TSV์˜ ๋‹จ์ ์„ ํ•ด๊ฒฐํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด TSV๋ฅผ ํšŒ๋กœ๋ผ๋ฆฌ ๊ตฌ๋ฆฌ-๊ตฌ๋ฆฌ ์ปค๋„ฅ์…˜์œผ๋กœ ๋Œ€์ฒดํ•จ์œผ๋กœ์จ ๋…ธ์ด์ฆˆ๋„ ์ค„์ด๊ณ  ๋ฉด์ ์—์„œ ์†ํ•ด๋„ ๋œ๋ณด๋Š” ๊ณต์ •๋„ ๊ฐœ๋ฐœ๋˜์—ˆ๊ณ .

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ํ”ฝ์…€์˜ ๊ฒฝ์šฐ Photodiode์™€ pixel transistor๋กœ ๊ตฌ์„ฑ๋˜์„œ์žˆ๋Š”๋ฐ

์ด๋Ÿฌํ•œ ๊ตฌ์กฐ๋กœ ๋˜์–ด์žˆ์œผ๋ฉด ๋‹จ์ ์ด ์žˆ์Œ

์ œํ•œ๋œ ํฌ๊ธฐ์—์„œ ๊ณ ๊ฐ๋„ ์„ฑ๋Šฅ์„ ๋Š˜๋ฆฌ๊ธฐ์œ„ํ•ด

Photodiode๋ฅผ ํ‚ค์šฐ์ž๋‹ˆ pixel transistor๊ฐ€ ์ค„์–ด์„œ amp์˜ ์„ฑ๋Šฅ์ด ์ €ํ•˜๋˜๊ณ  Pixel transistor์˜ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ๋Š˜๋ ค์„œ amp์˜ ์„ฑ๋Šฅ์„ ํ‚ค์šฐ์ž๋‹ˆ photodiode์˜ ํฌ๊ธฐ๊ฐ€ ์ค„์–ด๋“ค๊ฒŒ๋จ

๊ทธ๋ž˜์„œ X๋‹ˆ๋Š” ํ”ฝ์…€ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋ฅผ ๋ถ„๋ฆฌํ•ด์„œ ํฌํ†  ๋‹ค์ด์˜ค๋“œ ์•„๋ž˜์— ์ ์ธตํ•˜๋Š” ์‹ ๊ธฐ์ˆ ์„ ๊ฐœ๋ฐœํ•ด๋ƒˆ๊ณ  ํ”ฝ์…€ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๊ฐ€ ์‚ฌ๋ผ์ง„ ํ‹ˆ์„ ํƒ€ ํฌํ†  ๋‹ค์ด์˜ค๋“œ์˜ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ๋Š˜๋ ธ๊ณ , ํ”ฝ์…€ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๊ฐ€ ๋ถ„๋ฆฌ๋˜์–ด ์ ์ธต๋˜์—ˆ์œผ๋‹ˆ ํ”ฝ์…€ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ์˜ ํฌ๊ธฐ๋„ ๋Š˜๋ฆฌ๊ณ  ๋ฏธ์„ธ๊ณต์ •์œผ๋กœ ์„ฑ๋Šฅ์„ ํ–ฅ์ƒ์‹œํ‚ค๋Š” ๊ธฐ์ˆ ์„ ๊ฐœ๋ฐœํ•จ

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