viewimage.php?id=24b3d32ee0dd36&no=29bcc427b08a77a16fb3dab004c86b6f9262e0aa93b04405d36d07dce1c32a62a7bf7d7171cc2a9c5eec26378dfeedfcd060db1aba64eea6   
  KH케미컬-인천대 '탄소나노튜브' 웨이퍼 공동 개발키로

 

SWCNT 전류 구동능력 활용 '차세대 반도체' 기술 노려

단일벽탄소나노튜브(SWCNT) 전문 생산기업인 KH케미컬과 인천대 진성훈 교수 연구팀은

인천대 내에 연구소를 설립하고 SWCNT에 기반을 둔 반도체 웨이퍼(기판) 기술 개발에 들어갔다고 17일 밝혔다.

 

KH케미컬에 따르면 SWCNT는 높은 전류 구동능력 특성 등으로 반도체 소자로 응용할 때 나노크기의 채널로

전자이동을 제어할 수 있어 기존 실리콘 소자보다 고집적·초저전력의 소자 구동이 가능하다.

이런 특성 덕분에 SWCNT는 차세대 반도체 소자로 주목받고 있다.

IBM이 작년 탄소나노튜브에 바탕을 둔 차세대 반도체를 3년 내 상용화하고자 3조원을 투자한다고 밝히는 등

세계적으로도 상용화 움직임이 활발하다.

KH케미컬과 진 교수 연구팀은 용액공정 기반의 SWCNT 정렬기술 및 초고순도 정제기술을 확보해

차세대 반도체 소자로 활용할 수 있는 기초기술을 개발했다.

이번 협업을 통해 이런 기술을 적용해 내년 상반기까지 SWCNT 기반 반도체 웨이퍼를 개발한다는 계획이다. 

 

이에 앞서 진 교수는 2014년 11월 미국 일리노이주립대의 존 로저스 교수와 공동 연구 결과물인 '

초고주파 기반에서 수평으로 정렬된 탄소나노튜브 대면적 정제기술' 논문을 국제 과학저널인 '네이처 커뮤니케이션스'에 게재했다.

진 교수는 "차세대 반도체 소자 적용에서 반도체성 성분이 80% 이상인 KH케미컬의 SWCNT가 이상적인 소재로 평가받고 있다"며

 "협력을 통해 차세대 반도체 상용화의 길을 앞당길 수 있을 것으로 기대한다"고 밝혔다. 

 

이번 연구는 중소기업청 산학연 협력 기술개발 사업으로 지원을 받는다.