[르포] 고객사 HBM '밀착 지원'…램리서치코리아, 韓 사업 확대에 진심
램리서치코리아, 용인 및 동탄 캠퍼스 투어 진행
장경윤 기자
입력 :2023/11/29 09:00 수정: 2023/11/29 09:31

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글로벌 반도체 장비기업 램리서치의 한국법인 램리서치코리아가 국내 사업 확대에 대한 의지를 드러냈다. 현재 램리서치코리아는 제조센터, 트레이닝센터 등 모든 주요 사업부문을 국내에서 운영하고 있다. 나아가 내년 7월 완공을 목표로 용인 캠퍼스 내 사무동을 건설하고 있다.
이는 국내 주요 반도체 제조업체들과의 협력을 강화하기 위한 전략이다. 램리서치는 삼성전자, SK하이닉스의 전공정에 최첨단 장비를 공급해 왔다. 최근에는 후공정 영역인 HBM(고대역폭메모리) 분야에도 장비를 공급하는 등 성과를 거두고 있다.
28일 이상원 램리서치 한국법인 총괄 대표이사는 램리서치코리아 캠퍼스 투어 행사장에서 기자들과 만나 "한국은 전 세계적으로 낸드, D램 시장에서 상당한 점유율을 차지하고 있는 중요한 시장"이라며 "이에 맞춰 한국에서 최첨단 장비들을 적극적으로 양산하고 있다"고 설명했다.
램리서치 코리아테크놀로지센터 전경(사진=램리서치코리아)
한국 반도체 생태계 강화 자부심…HBM도 적극 지원
램리서치코리아는 이번 캠퍼스 투어를 통해 용인 코리아테크놀로지센터와 동탄 테크니컬트레이닝센터를 공개했다.
먼저 용인 코리아테크놀로지센터에서 기자들을 맞이한 정성락 램리서치코리아 부사장은 "램리서치의 국내 생산량은 2021년부터 2022년까지 18배나 늘었고, 국산 부품 소싱도 2019년 이후 3년간 3.4배 늘었다"며 "램리서치는 한국 반도체 생태계에 많은 기여를 했다는 자부심을 가지고 일하고 있다"고 말했다.
국내 고객사들이 시장 확대에 주력하고 있는 HBM 시장에도 적극 대응하고 있다. HBM은 여러 개의 D램을 수직으로 적층한 차세대 메모리로, 후공정 영역에 해당한다.
램리서치의 주력 장비인 식각, 증착, 세정 및 스트립 등은 주로 전공정의 영역으로 알려져 있다. 그러나 이들 장비는 후공정에서도 활용이 가능하다. 특히 HBM 제조의 핵심 공정인 TSV(실리콘관통전극)에 램리서치의 식각, 증착 장비가 쓰인다.
이와 관련해 램리서치는 최근 천안지역에 고객사의 HBM 생산을 지원하기 위한 사무실을 개소했다. 천안은 삼성전자가 HBM 생산능력을 확대하기 위해 투자를 집중하고 있는 지역이다.
이상원 램리서치 한국법인 총괄 대표이사(사진=램리서치코리아0
"한국은 첨단 공정 장비 생산거점"
현재 램리서치코리아는 국내에서 용인, 화성, 오산 지역에 제조공장을 운영하고 있다. 이들 공장은 램리서치 장비들 중에서도 최첨단 장비를 생산해 국내외 고객사에 공급하고 있다. 구체적인 수치는 밝히지 않았으나, 국내 공장이 램리서치 전체 생산능력에서 차지하는 비중은 적지 않은 것으로 알려졌다.
이체수 램리서치매뉴팩춰링코리아 사장은 "램리서치가 지난 1~2년 사이 발표한 셀렉티브 에칭, 어드밴스드 스트립 장비, EUV용 드라이 레지스트 장비 등 최첨단 신제품을 한국에서 생산하고 있다"며 "또한 내년 초에도 전략적인 신제품 하나를 런칭하기 위해 작업 중"이라고 밝혔다.
이상원 대표 역시 "3나노, 2나노 공정이나 500단 낸드 등 첨단 반도체와 관련된 모든 장비를 고객사와 협업해 개발하고 있다"며 "첨단 솔루션이 빨리 도입될 수 있게끔 전략적으로 투자를 많이 하고 있다"고 강조했다.
동탄 테크니컬트레이닝센터에 위치한 VR룸(사진=램리서치코리아)
고객사 밀착 지원 위한 투자 진행 중
이번 투어에서는 램리서치코리아가 고객사 지원을 강화하기 위한 다양한 노력들도 돋보였다.
코리아테크놀로지센터는 램리서치의 식각, 증착 장비와 각종 계측 장비를 도입한 클린룸을 보유하고 있다. 이를 통해 고객사가 보다 원할하게 신규 공정을 개발 및
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