레이저 파장이 193나노이기깨문임


그레서 삼성이 멀티패터닝으로 노광해 14나노 반도체 생산한거임


다중 멀티패터닝하면 7나노까지 생산가능한데


중국처럼 수율이 매우낮겠지...