반도체 세정장비중에

스크러버라는 장비가 있음

간단하게 말하면 물이랑 SC1(Standard Chemical 1 -이건 반도체공정 교과서에서도 나오니 기밀 아님) 약품을 뿌리면서 브러쉬로 웨이퍼 표면의 큰 건더기들 긁어내는 장비인데(CMP와는 다름 ㅇㅇ)

여기에 대해 요즘 동향들 알아보면 재밌음