반도체 세정장비중에
스크러버라는 장비가 있음
간단하게 말하면 물이랑 SC1(Standard Chemical 1 -이건 반도체공정 교과서에서도 나오니 기밀 아님) 약품을 뿌리면서 브러쉬로 웨이퍼 표면의 큰 건더기들 긁어내는 장비인데(CMP와는 다름 ㅇㅇ)
여기에 대해 요즘 동향들 알아보면 재밌음
스크러버라는 장비가 있음
간단하게 말하면 물이랑 SC1(Standard Chemical 1 -이건 반도체공정 교과서에서도 나오니 기밀 아님) 약품을 뿌리면서 브러쉬로 웨이퍼 표면의 큰 건더기들 긁어내는 장비인데(CMP와는 다름 ㅇㅇ)
여기에 대해 요즘 동향들 알아보면 재밌음
이게 무슨 떡밥이야 - dc App
스크러버 셋업 존나 했었는데 추억이네 이제.. 드래곤이 좆같음 전기 주기가
스크러버는 그냥 친환경정책때문에 그런거아님?
ㄴㄴ 그냥 가격이 쌈. 들어가는게 전기랑 에어랑 질소랑 물이 전부라. 물때문에 원래는 구리들어가는 곳에는 못씀. 구리 산화돼서