결론부터 말하자면, 애매하다. 난 LK-99용이 아니라고 생각한다.


1. 3000V 커브 트레이서 & 프로브 스테이션


> 커브 트레이서는 I-V 커브를 그려주는 장비... 쉽게 말해 전원장치 + 볼트미터가 결합된 제품이고 이걸 연속적으로 전류를 바꿔가며(아님 전압을 바꿔가며) 측정해주는 장치다...

> 근데 앞에 3000V가 붙었지? 3000V면 손만 대면 시커멓게 탈 수 있는 위험한 전압이다. 그럼 이렇게 엄청난 전압을 어디다 쓰는건가?

> 바로 절연체의 항복저항을 측정한다.


2. 절연체와 항복저항


> 여기, 아무리 먹어도 살 안찌는 사람이 있다. 푸드파이터처럼 먹어대는대도, 살이 안찌네? 축복받은 유전자다. 근데 아무리 살이 안쪄도, 매일매일 한 트럭씩 음식을 먹이면 어떻게 될까? 점점 점점 살이 조금씩 찌기 시작하다가 뭔가 한도를 넘어가면 일반인 처럼 살이 팍팍찌는 경우가 생길 것이다.

> 절연체도 마찬가지. 우리가 흔히 '절연'체는 전기가 통하지 않는 물질로 오해하기 쉬운데, 절연체는 저항이 졸라리 높은 것이지 그렇다고 전기가 절대로 흐르지 않는 존재는 아니다. 엄청 먹여대면(=초고압의 전압) 살이 찌듯 (=누설전류의 발생), 절연체도 전기가 흐르기 시작하는 저항이 있다. 그걸 항복저항이라 부른다.

> 그래서 한전공대는 '절연체'의 성능을 측정할 수 있는 '초고압이 가능한' 특별한 기계가 필요하다고 볼 수 있다.


3. 3000V 커브 트레이서 스펙과 용도

> 3000V 커브트레이서는 3000V 근처의 전압인가가 가능하다. (HVSMU Module) 이를 통해 엄청나게 튼튼한 저항도 뚫고 누설전류를 만들어 낼 수 있다.

> 반대로 초저저항을 측정하는 2182A(석배형이 썼던거)는 기껏해야 100V. 대신 B1505A의 V 해상도(2마이크로 볼트)는 작은 전압변화를 읽어내지 못하는데 반해 2182A의 V 해상도는 1 나노볼트 수준. 2000배 더 민감하다.

> 이 커브 트레이서는 주로 전력반도체(요즘 핫한 질화갈륨 등)의 항복저항이나 누설전류를 확인하는데 쓴다. 근데 LK-99는 절연체가 아니잖아? 내가 보기엔 이건 고전압이 사용되는 곳(송전) 쪽에 사용될 부품들의 내구성과 한계를 파악하는데 쓰는 장비로 보는게 더 타당하다.

<3000V 커브 트레이서 B1505A 스펙>

<초저저항 측정장비 2182A 스펙>


4. 스퍼터의 용도

> 스퍼터는 증착기의 종류 중 하나로서, 강한 자기장을 걸어 플라즈마로 대상 금속류를 때려(!)서 그 미세분자가 날려 증착하는 방식.

> 문제는 이 스퍼터의 대상이 주로 '금속류' 라는 거다. 과거 기억으로는 금속은 스퍼터, 실리콘은 CVD로 증착한다는걸 외웠었는데...

즉 이건 강력한 운동에너지를 가하기에 녹는 점이 높은 금속류 증착에 쓰고, 더불어 전기가 통하는 도체류에 쓴다. (전기가 안통하면 스퍼터링이 안됨)

> LK-99를 이걸로 증착한다? Mott 절연체 이야기가 나오는데 이걸 증착에 쓴다... 가능은 하겠지만 열 증착이 이미 가능한데 굳이 이걸 쓸 이유가?

> 즉 이건 구리 박막이나 금속 박막을 만들때 쓰는거라 아마도 전력반도체 만드는데 쓸 가능성이 높다.




5. 결론


> LK-99용은 아니다. 주로 반도체에 쓰이는 장비들이라 전력반도체에 쓸 가능성이 높다.

> 오히려 LK-99는 CVD, PECVD와 같이 실리콘류 증착하는 장비라던가 초저저항 측정기, SQUID 센서등의 구매로 찾아보는게 더 낫지 않을까 싶다...