반도체용 특수가스 세션에서는 반도체용 특수가스 불순물 분석법 및 BSGS 기술 동향, GC를 이용한 반도체용 특수가스의 불순물 분석기술개발 방법론이 발표됐다.

고순도 특수가스의 경우 국내 제조뿐 아니라 일본산, 중국산 등 해외에서 제조돼 유통되는 경우도 많기 때문에 공정에 투입되는 특수가스의 일관성을 유지하기 위해서는 정확한 순도분석이 필수적으로 요구된다.

이에 반도체용 특수가스 공급사는 반도체 생산 공장의 사회 원거리에서 고위험성 가스를 초고유량으로 안정적으로 저장, 공급할 수 있는 초고순도 특수가스 공급장치를 갖추고 있으며, 온라인 불순물 모니터링 분석시스템을 이용한 입고, 출하 검사를 하고 있다.

또한 비상시 자동 차단 및 배기가 되도록 안전장치가 구성된 가스 공급시스템이 필요로 하며, 일반적으로 ISO 가스 트레일러와 대유량 가스판넬 연결부가 설치되는 건물과 이를 구동에 필요한 지원설비등이 패키지로 건설된다.

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