1나노든 2나노든 그건 회로 CD 트랜지스터쪽에 STi 올리는 FEOL 말하는거고 초전도치는 와이어링쪽이라 BEOL쪽이다. 애당초 Cu증착시키는 쪽이고 회선 폭도 넓고증착 두께도 두꺼우니 좀 빠져