[잡소리] 구리 회로에 AS-ALD를 진행하려면

[황금향(spidercat)]

Substrate 위에 패터닝된 구리 표면 위로

CMP 한번 돌리고 Post-CMP를 해줘야

AS-ALD 진행에 특이사항이 없을까?

당연한 질문이겠죠?

[Uvix(sexyguy5210)]

[황금향(spidercat)]

[ERR0R(err0r2190)]

[초전토끼(lk99best)]

패터닝 하고 cmp 돌린다고요? 으음.. - dc App

[초전토끼(lk99best)]

CMP 이후 잔여물 처리는 당연히 해야 하는거 아닌지 - dc App

[황금향(spidercat)]

Seed layer에 Electroplating하고나면 CMP로 깎아야지 무슨 문제라도?

[익명(fjmwqgqm)]

[초전슈팅(wire7819)]