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중국은 미국에 의해 EUV 장비 수입 자체가 제한되어 있고, SMIC이 사용한건 전세계 “유일”하고 TSMC N7에 사용된 일제 니콘 7nm DUV 멀티패터닝 리소그래피인 니콘 NSR-S631E