어제 새벽 박막관련 올렸던 갤러다. 반말해도 된댔으니 반말로 한다.

요약하면 짱개는 노광기 문제땜에 초전도반도체 만들어도 반도체 생산이 쉽지않다.


중국이 초전도체가 있어도 반도체를 왜 못하냐면, 노광을 못해서 그렇다. EUV 노광기 판매금지됐지? 아무리 초전도체라도 일단 증착하고 노광해서 회로를 그려야 하는데 그 회로를 우째 그릴수 있냐는 거다.

원래 ArF노광기에서 EUV로 넘어온 것도 결국 얼마나 미세하게 빛을 조절해서 정확하게 회로를 찍을수 있냐는 '해상도'이슈 때문이다. 워낙 회로가 미세하다보니 노광이 잘 안되는거다. 그럼 할수없이 더블이나 트리플 패터닝으로 노광-식각을 2번 혹은 3번씩 때려야한다. (무를 자를때 칼이 잘 안들면 무를 연거푸 내리쳐야하는거와 같다. 당연히 시간이 더 들고 칼 내리치는 힘이 더 들겠지?) 이렇게 안그래도 비싼 노광기를 계속 잡아먹으면 캐파가 떨어지고, 결국 해상도는 높아지지만 공장캐파가 줄어들어 원가가 폭증한다.

LK99로 반도체를 만든다고 가정하자.(될지 안될지는 몰루?) 아무리 저항이 없어도 미세화 할수록 소비전력과 웨이퍼 수율이 올라가기에 미세화는 포기못한다. 결국 그럼 노광기 써야한다... 인류는 아직 노광기보다 더 미세하게 그림그릴 수 있는 도구를 찾지 못했다.

결국 중국은 미세화는 포기하고, 기존 ArF 노광기를 활용해서 초전도체 반도체를 만들려고 노력은 하겠지만.... 미세화가 가능한(=EUV노광기 쓸수 있는) 나라의 초전도체 반도체보단 분명 성능이 떨어질거다. 하지만 뭐 저 정도라도 중국한텐 다행인건가....

만약 초전도체 반도체가 가능하다면 미국은 걍 '노광기'이랑 '렌즈(노광기 쓰는 졸라비싼 렌즈들)'는 아예 틀어막을거다. 중국 내부에서 노광기를 만들수 있을지는 잘 모르겠으나 그렇게 쉽지 않을거다. (ArF마저도)

왜 노광기 만드는 곳이 네델란드랑 일본이냐면 이 광학기술에 필수적인건 고정밀 렌즈다. 그래서 EUV에는 지구존엄 칼짜이츠의 고정밀 반사식 반사경(비구면수차)이 사용되고, 그 전까지 노광기를 주름잡던 일본회사가 캐논과 니콘이란걸 보면 카메라업력이 되지 못하면 노광기만들기 힘들다는걸 알수 있다.

우리나라도 노광기 국산화(디스플레이) 시도했었지만 말아묵었지... 요즘은 어떤지 모르겠다.