반도체 리소그래피에서 쓰는
액침노광.변형(비등축)조명같은거 어떻게 발명된건가
찾아보니까 현미경에서 이미 쓰고 있던 기술이어서
신기했는데 공돌이들이 여기서 영감얻어서 노광장비에 적용한건가?