์ค๊ตญ์ ๋ฏธ๊ตญ์ด ๊ตญ์ ๋ฌด์ญ ์์คํ
์ ํ๊ดดํ๋ค๊ณ ๋น๋ํ์ต๋๋ค .
์ต๊ทผ ๋ค๋๋๋ ์ ๋ถ๊ฐ ASML์ ์ค๊ตญ์ผ๋ก์ ๋ฐ๋์ฒด ์์ถ์ ์ฐจ๋จํ๋ ค๋ ์กฐ์น์ ๋ํด ์ค๊ตญ ์ธ๊ต๋ถ ๋๋ณ์ธ ์์ฌ๋น(Wang Wenbin)์ ๋ค๋๋๋ ์ ๋ถ๊ฐ ๊ณ์ฝ์ ์ ์ ์ ์กด์คํ๊ณ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ์กฐ์น๋ฅผ ํตํด ๋ค๋๋๋์ ์ค๊ตญ ๊ธฐ์
์ ๊ณต๋ ์ด์ต์ ๋ณดํธํ ๊ฒ์ ์ด๊ตฌํ์ต๋๋ค.
โ์ค๊ตญ์ ๊ธ๋ก๋ฒ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์
๊ณผ ๊ณต๊ธ๋ง์ ์ฌ๊ฐํ ์๋ณด ์ํ์ ์ด๋ํ๋ ๋ฏธ๊ตญ์ ๊ตญ์ ๋ฌด์ญ ์์คํ
์ ๋ํ ์ํ๊ณผ ๋ฐฉํด ํ์๋ฅผ ๋จํธํ ๋ฐ๋ํฉ๋๋ค.โ (c) ์์ด
์ ๋ ๊ฒ ๋งํ๋๊ฑฐ๋ณด๋ ์๋จนํ๊ณ ์๋๋ณด๋ค
๋ฉํฐํจํฐ๋ง์ผ๋ก 7nm์นฉ ๋ฝ์์ ํ์จ์ดํฐ ๋ง๋ค์ด๋ ๊ทธ ๋ฐฉ๋ฒ์ด ๋จ๊ฐ๊ฐ ์กด๋ ๋น์ผ ๋ฐฉ๋ฒ์ด๋ผ..
์ ์ข๊น ๋ณ์ ์ ๋ฐ์ด๋ ๋ ์ด๋ฌ๋๋ฐ ๋ค์์ ๋ ํธ๋ผํ์ผ ใ ใ ใ ใ ใ ใ ใ ใ - dc App